MIKRON PhotriX 直接蓝宝石光导管配置
美国原装进口!制造商:MIKRON,隶属LumaSense集团
简要描述:
Photrix系列是我们精确的测温仪,拥有行业内较好的信噪比,可测量低温,实现控制高价值工艺与研究应用的无可比拟的精确度。我们 Photrix系列的这一配置采用一根蓝宝石光杆(也就是“光导管”)作为镜头,用以收集来自目标物体的红外辐射。光导管镜头的优势在于,它可测量低温,且易于安装在真空反应器内,一般用于先进材料的沉积(生长)以及蚀刻(移除)工艺。
Photrix光导管镜头配置有5种光谱响应(波长),具有以下特点:
主要优势:
● 低温测量功能(具体内容请参照以下表格)
● 30-670°C温度条件下光谱响应为700-1650nm
● 70-110°C温度条件下光谱响应为1550nm
● 210-1300°C温度条件下光谱响应为900nm
● 220-1300°C温度条件下光谱响应为880nm
● 400-1500°C温度条件下光谱响应为650nm
● 响应时间短,仅1毫秒
● 精确度+/- 1.5 °C或读数的0.15%
● 精度0.01 °C(详见技术资料TN-828)
模拟输出(用户可选4-20mA或0-10V)、以及多通道接口模块(单个数字信号最多可使用8个传感器,串行模拟输出)可供选择。标准系统包括所有必要的电缆、电源、电脑接口软件以及存档/校正系统。
了解MIKRON PhotriX更多信息及价格,请致电24小时客服热线:400 992 1886
技术参数:
测温范围:
30...2400°C
70...2600°C
210...2600°C
220...2600°C
400...2600°C
测量波段:
650 nm – 1650 nm
准确度:
± 1.5° C 或 读数的0.15%
分辨率:
0.01 C
响应时间:
1ms
漂移:
<0.15° C 每年
输出:
RS-232 (标准), 支持Modbus 协议, 模拟输出(选配)
环境温度:
10 – 60° C
典型应用:
● 半导体
● 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池沉积
● 非晶硅薄膜沉积
● 直拉晶体生长
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选择镜头(根据测量距离、光斑大小):
测温范围: |
30...2400°C 70...2600°C 210...2600°C 220...2600°C 400...2600°C
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测量波段: |
650 nm – 1650 nm |
准确度: |
± 1.5° C 或 读数的0.15% |
分辨率: |
0.01 C |
响应时间: |
1ms |
漂移: |
<0.15° C 每年 |
输出: |
RS-232 (标准), 支持Modbus 协议, 模拟输出(选配) |
环境温度: |
10 – 60° C |